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    皮拉尼/BA/電容膜片-復合真空計

    INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 Triple-Gauge BCG450 將三大不同技術的優勢融合在一個體積小、價格低的規管中,可以測量從 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的過程壓力和基本壓力。BCG450 的設計旨在替代三個傳感器(熱電離、加強對流 Prani 和真空開關),因而節省了成本和寶貴的工具空間。

    特點

    BCG450 可節省成本和工具空間,降低真空測量儀器的安裝與設置的復雜性

    壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制,可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預抽真空室控制

    皮拉尼聯鎖保護絲極,防止過早燒毀

    高真空皮拉尼自動調節,減少操作員的干預

    大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性

    傳感元件帶有板載校準數據,易于更換,可保證再現性

    備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

    符合 RoHS 標準

    應用

    對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

    工業鍍膜

    低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

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