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CDG100D加熱型電容膜片真空計

INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C,具有卓越的性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質卓越,極具成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

特點

擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗

易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移

診斷端口便于快速服務與維護

兩年保修服務,先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

卓越的信號穩定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執行重新校準

合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程

化學和腐蝕性高溫過程

需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

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