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干式真空泵

Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運作,適用于大多數潔凈制程;體積小以及操作簡單。

特點

排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產品

極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

空冷規格

初期排氣時間短,大氣壓附近排氣速度快

低消費電力設計

應用

SEM,光刻

醫療設備

裝載室,搬送室排氣

分析儀器

加速器,離子源,電子槍的排氣

一般產業

PVD或R&D

技術規格

型號DSP50DSP250DSP500
排氣速度(L/min)最大50230500
氣鎮開啟36200430
極限壓力(Pa)通常200.5
氣鎮開啟時2002
法蘭連接進氣口KF16KF25KF40
排氣口RC1KF25
電源電壓(V)100-240100-230
頻率(Hz)50/60
相數單相
容許電壓精度±10%
功率(W)極限壓力時230240270
最大380600
冷卻方式空冷
重量(Kg)91520
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