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  • 成都四洋科技有限公司官方網站

    機械增壓泵

    EH250

    EH500

    EH1200

    EH2600

    EH4200

    Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。

    EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

    機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

    特點

    適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。

    它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

    EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

    安靜的無振動運行。

    牢靠且防腐蝕。

    先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

    防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

    經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降低。

    軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

    動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

    應用

    半導體制程

    真空蒸餾

    真空包裝

    鋼脫氣

    薄膜覆層

    真空冶金

    低密度風洞

    空間模擬

    真空浸漬

    油干燥和脫氣

    制藥冷凍干燥

    CO2 激光

    技術規格

    型號
    EH250
    EH500
    EH1200
    EH2600
    EH4200
    抽氣量m3/h
    50Hz
    310
    505
    1195
    2590
    4140
    60Hz
    375
    605
    1435
    3110
    4985
    前級泵有效泵速m3/h
    E2M40
    240
    350
    840


    E2M80
    274
    400
    840


    E2M175

    440
    930
    1750

    E2M275

    460
    1020
    1900
    3100
    泵上的壓差mbar
    50Hz
    0-180
    0-110
    0-90
    0-120
    0-70
    60Hz
    0-150
    0-90
    0-75
    0-67
    0-50
    進出口法蘭
    ISO63/ISO40
    ISO100/ISO63
    ISO160/ISO100
    ISO160/ISO100
    ISO250/ISO100
    轉速rpm
    50Hz

    0-2900

    60Hz

    0-3500

    額定連續進口壓力

    0-1000mbar

    出口壓力

    1000mbar

    建議支持泵
    GV80,
    E2M40,
    E2M80
    GV80, E2M80
    GXS160,
    GXS250,
    E2M80,
    E2M175
    GXS250,
    GXS450,
    E2M175,
    E2M275
    GXS450,
    E2M275
    電源電壓,3-ph

    220-240V / 380-415V

    電機功率Kw
    碳氫油

    2.2

    3

    11

    PFPE
    ATEX
    防爆電機

    3

    4

    15

    溫度℃
    工作溫度

    5至40

    環境存儲溫度

    -10至80

    濕度

    90%RH

    冷卻方式

    空冷

    水冷

    建議用油
    標準

    Ultragrade 20

    PFPE

    Fomblin YVAC 16/6

    油量L
    齒輪箱


    1.25

    3.5

    耦合面

    1.5

    2.4

    6.5

    軸封油層

    0.125

    1.5

    重量Kg

    69

    106

    149

    345

    481

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