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307 Bayard-Alpert真空計控制器

Bayard-Alpert離子計

Convectron 真空規

TC真空規

Granville-Phillips 307系列真空計控制器(VGC)可測量壓力,并充分利用壓力相關輸出來控制一系列真空系統功能和工藝。為了適應各種不同的需求和應用場合,307控制器提供了不同的配置和價格。對于最簡單的配置,307控制器僅運行一個電離規(IG)測量從1×10 -10到1×10-1Torr壓力范圍。利用選項模塊,307控制器可控制四個規管,測量范圍從2×10-11Torr至大氣的壓力,并有六個過程控制設定點可用。

特點

能夠測量系統或工藝中多達四個位置處的壓力。

保守設計提升了可靠性,并有質保體系做后盾。

節約空間的組件設計僅占有常規機架寬度的一半。

獨一無二的改進設計可帶來以下益處

通過使用兩個相繼工作的電離規和或者兩個Convectron規或兩個熱偶規,或使用二個Convectron規加一個電容薄膜規,可以測量系統或工藝中多達四個位置處的壓力。

極其出色的系統控制:提供多達六個過程控制設置點,并可以在預先選擇的壓力下自動或手動啟用。

增強的可靠性:采取保守設計,明顯降低組件故障的可能性。獨立電源可遠程布置顯著降低操作溫度。目前,這款久經驗證的設計由Brooks質保體系提供支持。

更強大的安全性:控制單元僅使用低壓電路,顯著降低觸電危險。

明顯改進的經濟性:模塊化設計支持用戶僅購買所需功能,并在將來輕松升級。

節約面板空間:307控制單元僅占用常規機架寬度的一半,由于無通風,因此可以更高效地利用控制單元的上下空間優勢。


更精確的壓力測量

顯著提高的壓力測量準確度通過控制發射電流,保持i=溫度穩定,從而使散熱及其影響,放氣作用和壁電都保持穩定,否則這些因素將明顯影響壓力的讀數。

為了擴展的壓力范圍測量能力和/或延長規管壽命,您可以調整發射電流。

電磁場輻射抗干擾度

控制單元和電源之間以及與規管的連接均使優質的屏蔽電纜。

為了有助于防止電氣干擾,重要連接處采用RF過濾器。

通過移除控制單元附近的電源,使儀器機箱內的溫度上升速度減緩,從而減少電路漂移并提高壓力涙量的準確度。

使用Convectron規進行的壓力測量在大多數情況下不受溫度變化的影響。溫度補償設備將監控傳感絲周圍的氣體溫度,而不是監控遠離的外壁溫度。

每個Granville-Phillps Convectron規管在發貨之前,均會分別經過校準,大部分測量范圍內的讀數誤差控制在±2%以內。

要提高壓力測量的準確度,可以按規管校準特性簡單調整靈敏度,與發射電流無關。

研究數據表明,B-A規的不準確率為30%至40%,盡管307真空規控制器能夠非常精準地測量離子流,但上述不準確率是B-A型電離規所固有的缺陷,任何電離規控制器均無法持續加以彌補。


明顯改進的經濟性

輕松的自定義一旨在允許您僅購買當前應用所需的模塊。

輕松的現場升級支持您以合理的成本獲得更多高級復雜功能。

小尺寸(僅占機架寬度的一半)可節約寶貴的面板空間。

低功耗的控制單元允許安裝其他儀器,因此無需額外留出通風空間。

最大程度地縮短停機時間:

借助故障指示燈的幫助查找故障電路。

由于毎個主板均主要包含與其功能相關的電路,因此有助于您輕松安排庫存。

可輕松更換的模塊支持快速進行現場修復。


出色的控制

使用多達六個設定點增強過程繼電器,電離規有兩個,兩個Convectron或熱偶規各兩個。

可用的Convectron或熱偶規功能支持在預先選擇壓力的設定下自動點亮電離規。

設定點可手動干預設置便于系統建立和維護。

用戶可選擇設置點的極性,以便繼電器能在壓力高于或低于既定設置點時激活。

設置點時激活設置點的狀態將顯示在前面板上可以使用用戶自定義的標簽加以識別。

Convectron規管通過在真空中分別精細調整歸零,其下限為l×10-4Torr,因此它更適用于過程控制如1×10-3Torr范圍內的濺射。


增強的可靠性

停電保護:所有設定點都存于非易失性存儲器內,因此即更停電或電壓不穩,亦可成功保存設定信息。過程控制操作具有可選擇的繼電器狀態,使用戶能夠定義停電條件。當電源恢復時,如果自動IG的打開/關閉控件正處于使用狀態,則IG將返回到“on”的狀態。

內置的損壞保護:

保護控制器,免受規管的特殊電路的短路影響。

保護規管,免受過壓損壞。

由于構建的等離子區可使控制單元在不受損壞的情況下關閉,因此電弧保護會在除氣期間啟動。

由于使用遠程電源可以顯著降低操作溫度,因此將明顯減少組件出現故障的可能性。

內置的鎖定監控器可持址進行徑杏,并自動恢復軟件相關的故障。


更強大的安全性

燈絲電源關閉時,電離規電極中不存在危險的高壓。

遠程電源可最大限度地降低觸電危險;控制單元內部以低干35伏的直流電(峰值)運行。

采用封閉式線纜連接接頭與電離規收集極相連,明顯降低接觸收集極引線的危險,這一功能十分重要,因為如果接地不正確,收集極會在柵極電壓上下浮動。

采用防篡改設計,避免未經授權的操作:

前面板蓋可以鎖定,有助于保護未經授權擅自篡改子面板控件上已編程的重要數據。

遠程I/ O面板支持您使前面板電離規和除氣控件無法操作。


便捷的多點測量讀數

通過并排安裝兩個控制單元,可以在一個緊湊的區域內同時顯示六組壓力讀值,每個控制單元均可測量系統中多達四個點的壓力。

技術規格

顯示屏

類型

數字顯示,綠色LED

單位

Torr,mbar和Pa,用戶自行選擇

更新時間

通常為0.5秒
控制器壓力范圍

測量下限

1X10-10Torr(發射電流為10mA且規管靈敏度為10/Torr)

測量上限

1X10-1Torr(發射電流為10mA且規管靈敏度為10/Torr)

壓力范圍

對應于上述給定發射設定和規管靈敏度范圍的七個數量級
發射電流
可控制,且可從0.01mA調整至10mA
電離規
模擬輸出,對數:1V/數量級,0-10VDC
B-A規和其它兼容熱燈絲類型的電離規
靈敏度調整范圍
3/Torr至50/Torr
標準電位計
電離規管靈敏度和發射電流可調
線纜
30米至61米(可指定)

控制器尺寸

241mm*89mm*273mm(允許數據線接口深度+5cm)
操作溫度
40℃

電源要求

100/115/230 ±10%VAC(由用戶選定),250W,50Hz/60Hz
其它可用模塊和功能規格

可用的計算機接口

IEEE-488(并行)

RS232/RS485串行
波特率:可選擇75(僅限RS232)、150/300/600/1200/2400/3600/4800或9600;19.2K(僅限RS485)
適用于壓力數據輸出和設定點狀態
為IG1、IG2和DEGAS提供遠程打開/關閉控件
高性能的超高真空(UHV)電位計
發射電流為10mA時的壓力讀數下限擴展到2X10-11Torr
提供電子轟擊除氣電源調整控件
附帶單獨的靈敏度調整控件和單獨發射控件,可分別控制兩個電離規
高壓操作
在規管測量的整個范國內,讀數分辨率高達兩位數(10-4Torr除外)
Convectron真空計功能
可運行Granville-Phillips的兩個275規管
壓力范圍1×10-4托至990托
溫度
耐烘烤溫度高達150°C(非工作狀態)
操作溫度為4-50℃
規管環境補償溫度范圍15-50℃
插口連接方式,便于輕松安裝傳感器(即便在"盲區"也是如此)
模擬量輸出,對數1V/數量級,0-7伏直流電。可將直流電的偏移量調整+1至-7伏

熱偶規功能

可運行Granville-Phillips的兩個270規管
壓力范圍1X10-3托至1托
模擬量輸出,非線性0-10VDC
注意Convectron和熱電偶儀表主板選件均包括電離規的自動打開功能。

電容薄膜規功能

運行一個GP規管和一個電容薄膜規
電容薄膜規的最大范圍1-10-100-1,000托
±15VDC 250mA的電源

過程控制

兩個通道(僅限電離規)
六個通道(適用于所有規管)
壓力相關的繼電器(設置點)支持用戶選擇壓力
·繼電器配置SPDT(單刀雙擲)
繼電器觸點容量:250V AC電阻負荷為5A時,觸點額定值為30VDC; 5A鍍金觸點可用于低電平轉換

雙電離規操作

兩個規管先后工作
熱燈絲型電離規管,例如B-A規

遠程輸入和輸出

為IG1、IG2和故障檢測提供狀態繼電器觸點
為IGI、IG2和除氣提供遠程打開/關閉控制
為前面板開關提供鎖定裝置
除氣
電子轟擊(EB):10-40瓦特(可調整)
I2R:額定電壓為8伏,固定功率最高為80瓦特
如果已選擇EB除氣,建議使用UHV電位計可進行除氣電源調整與發射電流設置無關
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