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壓力控制系統

APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC),與之相應的壓力信號連接顯示器,同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

特點

至多可以連接4個MFC的PCB卡,每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項),實現所有遠程控制都是可能的。

技術規格

閥門操作

ATV1000排氣節流閥,MKS型653和253排氣節流閥及其他

壓力輸入信號

標準0-10Vdc

輸入功率要求

90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

設置點

可編程的

外部模擬

總共5個,可在任何組合中編程,用于壓力或閥位置

(可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232)

0-10VDC

控制器重復性

±0.1% F.S

環境運行溫度

15℃ - 45℃

輸出功率

±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

模擬量輸出信號

0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力

尺寸

1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

顯示

LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

顯示單位

Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

PID控制

標準

遠程零點

標準

接口

前面板設置,模擬,TTL和RS232,(RS-485選項)

繼電器輸出

2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

遠程控制

(打開、關閉、保持)

標準

位置控制能力

標準

ATV1000排氣節流閥

ATV1000是用來調節真空腔體壓力的,可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設計與GPC3000兼容使用的。

ATV1000-B在閥內安裝了調節電導的板,和百葉窗形態一樣,與其他閥不同的排期節流閥,即使板是90度開啟,也不干涉腔體其他的部件,板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭,都沒有必要安裝,整體上節省了真空裝備的體積和價格,并開發了大型尺寸的閥門。

特點

使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設備的吞吐量而設計的。

ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產品的控制器也可以連接使用(如MKS)

“節流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認,即便閥的動作是否在裝備中脫離,可以確認。

“節流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。

ATV1000-B優勢

                                        ATV1000-B閥門式樣


技術規格

閥門速度(開閉)

1.5sec

分辨率

1/24000

驅動方式

PID單獨傳動

閥體最高工作溫度

標準:0-100℃

可選:0-150℃

閥工作環境溫度

-20℃至40℃

閥的壓差

1atm(15psi)-最大

泄漏率

1x10-8sec/sec He

暴露在工藝中的材料

標準:304,Viton(密封材料可選)

可選:316,Viton(密封材料可選,具體聯系工程師)

兼容的控制器

GPC3000,MKS 651 or 1651

控制器輸出轉矩

800 in-oz

關閉-泄漏率

(帶有O型圈的閥門)

<10-7(Torr l/s)>

ACM200電容薄膜真空計

ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

特點

直接測量方式測量壓力

無關氣體組分影響

可應用于腐蝕性氣體環境,適合于各類制程應用

可搭配Atovac儀表,實時顯示

測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數制程壓力范圍

技術規格

壓力范圍(滿量程)

1、2、10、100、1000

最低壓力

0.01%滿量程

精度

±0.25%讀數

可選:±0.15%讀數

溫度效應

零點

跨度


0.002% 滿量程/°C

0.02% 讀數/°C

工作環境溫度

0℃至50℃

暴露于氣體中的材料

鉻鎳鐵合金

泄漏率

1x10-8sec/sec He

最大壓力

310Kpa

電源要求

±15VDC (±5%) @ 35 mA

輸出信號

0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

法蘭

8 VCR, NW16KF

質量流量控制器

MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

特點

設計用于半導體制程和工業使用

滿量程流量從5sccm至200slm

1%滿量程的精度

可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

技術規格

流量范圍(滿量程)

AFC500/AFC600:5sccm至50slm

AFC770:51至200slm

最大進氣壓力

150psig

正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

10至5000sccm

10000至20000sccm

AFC770


10至40 psid

15至40psid

40至70psid

精度(模擬量)

(包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

±1%滿量程

重復性

±0.2%滿量程

分辨率

1%滿量程

溫度系數

零點

跨度

<0.05 % 滿量程./°C

<0.05 % 滿量程.

預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

<2分鐘

控制器調節時間

<2sec

壓力系數

<0.02 % of Rdg./psi

工作溫度范圍

0-50℃

電源

±15 VDC (±5%)

設定值命令信號

0-5Vdc

輸出信號

0-5Vdc

法蘭

VCR, LOK

接口

9針D-sub

材料

316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

外部泄漏完整性(scc/sec He)

通過關閉閥門

< 1×10(-9)

<1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

壓強控制系統示意圖


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