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    離子源原理

    Anode layer ion source的基本結構和演化

    正交場放電,為什么是陽極層?

    陽極層加速原理,濺射的影響,離子束的發射效率與放電模式(低壓/高壓)的關系。

    在DLC中應用的難點

    短路?在一些電介質薄膜沉積中呢?

    Physics and engineering of crossed-field discharge devices—Abolmasov

    正交場放電器件可分為下圖所示幾個類型,圖中每種構型都滿足漂移形成閉合路徑。三種主要構型為:圓柱、環形和平面構型。被約束在漂移路徑內的電子行程足夠長,增加了對本底氣體的離化幾率。


    電子的漂移運動形成Hall電流,

    除此之外,電子在垂直磁力線方向的運動形成陽極感受的放電電流,

    考慮到

    在強場近似下,。如果考慮電子的反常輸運,。

    注意,在沿著磁力線方向上,碰撞會阻礙電子運動;而在垂直于磁力線方向上,遷移需要碰撞,其頻率與電子運動能力成正比。假設,電子的larmor軌道大部分時間內是完整的。電子的隨即運動步長與無磁場時是一致的。那么,我們可以認為B場為等效氣壓。


    寬束離子源的引出往往是通過包含加速-減速功能的多孔柵極引出的。柵極引出的離子束可以精確地控制離子能量和劑量,但并不適用于低能離子束應用。這是因為柵極之間的空間電荷效應。

    d即是柵極間距。(更高的引出束流意味著更高的電壓