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354 Micro-ion

Granville Phillips Micro-ion真空規是世界上非常小的電離真空規,其壓力測量基干帶電電子與真空規管中氣體分子碰括所產生的離子電流的量。通過多種改進,在小體積內取得了高性能。這些改進包括獲得專利的雙離子收集極設計,可以優化電子運動和離子收集。雙燈絲最大限度地減少了計劃外停機。由于有第二根燈絲做備用規管可以工作到定期維護時再更換。超清潔結構(包括所有組件的真空燒制和在潔凈度100級的潔凈室環境中的組裝)確保在真空室抽氣的過程中快速、可重復的響應。

緊湊尺寸、高性能和堅固耐用、全金屬外殼使得Micro-lon模塊成為眾多高真空應用的明智選擇。

特點

真空壓力測量至10E-9Torr

雙燈絲增加設備的正常運行時間

超潔凈結構在抽氣過程中實現快速響應

堅固耐用的金屬結構,抗射頻和噪音符合CE標準

可選本地顯示器有助于設置和診斷

數字接口可用于計算機控制系統

技術規格

測量范圍(對于N2和空氣)10E-9Torr至5 × 10E-2Torr
發射電流0.1,4mA
除氣電子轟擊,3W,帶2分鐘定時器
過壓保護在出廠設置壓力上線時規管關閉
重量370g,KF16法蘭
電源24Vdc±15%,12W(最大值)
工作溫度0-40℃,非冷凝
外殼鋁材
認證CE認證
模擬輸出型
輸出1V/數量級,對數,0-9V
燈絲控制模塊頂部切換開關
輸入信號燈絲開/關。除氣開/關以及發射電流通過對地通斷性來設置
輸出信號燈絲和除氣開/關狀態由開路集成電機晶體管來決定
接口9針D-sub插針公頭
顯示器(選配)2位加指數,綠色LED
數字接口型
通訊RS485,一個設定點繼電器
參數可調燈絲開/關,除氣開/關,發射電流選擇,燈絲選擇,設定點(值,方向和滯后)
波特率19200波特率(默認值)
數據格式ASCII,8位數字位,1位停止位,無奇偶校驗位,無反饋校驗(默認)
繼電器配置一個設定點繼電器SPDT
繼電器觸點額定值1A,30V直流阻抗負載時;0.5A,125V交流非電感式時
接口9針D-sub插針式公頭
Micro-ion真空計
敏感度20/Torr,15/mbar,0.15/Pa
X射線極限<3 × 10E-10Torr
燈絲材料氧化釔涂層銥絲或鎢絲
暴露于真空的材料304不銹鋼,氧化鋁,鉭,鎢,CuAg共晶,Kovar合金
烘烤溫度200℃,拆除電子設備

訂購資料

本體模塊表示符
模擬量輸出,無顯示器354001
模擬量輸出,3位顯示器354002
RS485數字接口,無顯示器354005
燈絲組件
氧化釔涂層銥絲Y
鎢絲T
法蘭連接
KF16D
KF25E
KF40K
CF16F
CF35G
8VCRH
測量單位
TorrT
mbarM
PaP

例如:354001-YE-T,表示:模擬量輸出,無顯示器,氧化釔涂層銥絲,KF25接口,單位Torr的真空計

置換產品:Instrutech inc

本體模塊GP 354MKS 355Instrutech IGM401
模擬量輸出,無顯示器354001355-4-00IGM401
模擬量輸出,3位顯示器354002355-6-00IGM401
RS485數字接口,無顯示器354005355-4-10IGM401
燈絲組件
氧化釔涂層銥絲YYY
鎢絲TTT
法蘭連接
KF16DDB
KF25EEC
KF40KKD
CF16FFE
CF35GGF
8VCRHHH

例如:

GP:354002-YE-T

MKS:355-6-00-0-YE-T

Instrutech:IGM401YCD

這三個產品能完全通用。

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