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分子泵組(真空排氣臺)

真空泵組是通過組合各種泵來實現真空環境的系統。

真空廣泛用于先端科學技術到一般產業的領域。 根據用途所需的真空條件也是不同的。 考慮對環境的影響,可凝性氣體、腐蝕性氣體的處理是應該解決的重要問題。

特點

根據應用情況,選擇分子泵或前級泵

緊湊型安裝

移動式機臺

選配真空計,實時壓力監測

應用

研發試驗

真空爐排氣

一般抽真空應用

技術規格(常用)


型號

ST060FR060桌面式真空排氣臺

接口形式

吸氣口

KF40

進氣口

G 1/2”

排氣速度

N2

60L/s

N2帶保護濾網時

55L/s

極限真空度

5×10-6Pa以下

真空泵

復合分子泵

TG60FRAB /OsakaVacuum


軸承型式

陶瓷軸承、脂潤滑


冷卻方式

強制空冷


轉速

69000rpm


啟動時間

1.5~2min


停止時間

15~25min


壓縮比N2

2×107


壓縮比H2

3×103


最高容許背壓

800Pa


軸承壽命

20000hour


分子泵控制器

TC75


輔助泵

VRD4


輔助泵形式

雙級選片式真空泵


輔助泵排氣速度

66L/min

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