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分子泵

STP-iX455

STP-iXL455

STP-iXR1606

STP-iXR2206

STP-iXA2206C

STPiX3006

STP-iXA3306C

STP-iXA4506C

Edwards STP集成控制器分子泵系列提供了行業領先的性能,并具有緊湊的尺寸集成板上控制單元。集成控制器不需要傳統的機架式控制器和互連電纜。采用最新開發的革命性轉子設計,提高了泵送性能。這個完全集成的產品提供了簡單的安裝和占用空間小,所有應用程序工具的一體化解決方案。

特點

提高的生產率-一流的領先的高吞吐量與更快的泵下到基本壓力

體積緊湊-節省空間,便于安裝

低擁有成本-低電力和公用事業消耗

免維護-經濟實惠

應用

研發

計量和微觀應用

Pre-clean過程

玻璃涂料系統

內聯/批涂層系統

鋼脫氣

固態照明

半導體和FPD蝕刻系統

同步掃描電子顯微鏡(SEM)

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