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電容薄膜式真空計

如左圖,壓力變化引起膜片不同層度的形變,使得膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道膜片上壓力的變化。(膜片主要有兩種材質:金屬膜片和陶瓷膜片)

電容薄膜壓力計,測量讀數無關氣體組分,主要受環境溫度的影響(溫度補償),是測量差分或全部氣體壓力最準確的設備(包括蒸汽凝結、操作溫度不規則的環境),目前已知產品最大測量壓力為25000Torr,最低測量壓力在10-5Torr左右。大部分精度為讀數的0.25%,其中高精度有0.08%、0.025%。測量范圍跨度一般有4個數量級或5個數量級。

應用

半導體行業蝕刻,CVD,PVD,ALD等

光伏行業,PECVD等

液晶顯示屏制造設備

工業真空設備,標準真空計

國防科研應用

熱電偶真空計

如右圖,燈絲通過恒流源供電加熱,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化,燈絲溫度引起熱電偶電壓(恒壓)變化,根據電壓變化測算出氣壓。(熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系)

測量的壓力范圍:10Torr至10-3Torr

應用

前級真空測量,如前級真空泵,鍍膜,光伏,等離子行業

中低真空測量行業,如冶金

高真空計的連鎖控制

皮拉尼真空計

如圖,燈絲通過恒流源供電加熱,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發生變化(恒溫)引起電橋(惠斯通)電阻變化,根據電阻變化測算出氣壓。(熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系)

測量的壓力覆蓋范圍:100Torr至10-3Torr(具體參考實際產品指標)

應用

前級真空測量,如前級真空泵,鍍膜,光伏,等離子行業

中低真空測量行業,如冶金

高真空計的連鎖控制

對流增強型皮拉尼真空計

Convectron&Convection真空規是結構同皮拉尼,其壓力測量基于傳感器導線的熱損失率。與傳統的熱偶規和皮拉尼真空規僅使用傳導性損失不同,熱損失真空規由于在較高壓時使用對流散熱,從而充分利用了熱損失技術。使測量范圍延伸到大氣端。

測量范圍:10-4torr至1000Torr;精度優于一般皮拉尼真空規。

應用

前級真空測量,如前級真空泵,鍍膜,光伏,等離子行業

中低真空測量行業,如冶金

高真空計的連鎖控制

B-A型熱離子真空計

熱陰極離子規管的壓力指示是基于氣體分子電離產生的連續電流。負電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極(陽極)加速運動。電子進入柵極和對地連接的收集極空間內。在這個空間內電子與真空系統中的氣體分子碰撞產生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對柵極的電壓和電子發射電流下,壓力低于10-3Torr時正離子形成率直接與分子密度(壓力)相關。離子流的強度在經壓力單位調校的微安計上顯示出來。由于壓力的指數是線性的,熱陰極離子規管通常在壓力低于10-3Torr時被認為進行連續的壓力測量時精確的。

離子規的測量下限由這類型規管的X射線極限決定。X射線極限因不同規管設計而不同。陰極發射的電子與柵極及其支撐網碰撞產生X射線。由于離子規的幾何結構原因,僅有一小部分發射的X射線會被收集極收集。當X射線碰撞收集極絲時,收集極上會有光電子發射。X射線電流限制了壓力測量范圍,使其等效壓力下限到10-10或10-11Torr范圍,取決于規管型號。早期的規管在柵極外有個柱狀收集極,這種規管的X射線極限大約在10-8Torr。當氣體非常稀薄且規管所獲得的電流輸出幾乎全部都來源于X射線光電發射時,X射線極限就決定了規管最小壓力測量值。

電極被碳氫化合物污染后會使X射線極限增加,這是因為在X射線轟擊下污染表面會放出更多的二次電子。這種污染通常可以通過電極除氣來消除。

測量覆蓋的范圍:10-3Torr至2 × 10-11Torr(具體參考實際產品的指標)

應用

高真空及UHV真空測量

光學鍍膜

冷陰極離子真空計

冷陰極電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。冷陰極電離規無熱燈絲,容易清洗保養。

測量覆蓋范圍:10-3Torr至7.5 × 10-11Torr(具體參考實際產品的指標)

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