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渦旋真空泵

nXDS 35i

nXDS 46i

Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有創新的軸承護罩設計,可將真空環境與所有形式的潤滑劑隔離開來,使之不僅完全干燥,而且完全密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。兩款泵都有耐腐蝕性版本。

XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎上開發的產品,因此兩者具備相同的功能和優勢,但前者的峰值泵速可達 40m3/hr。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時,XDS46i 針對最大抽速進行了優化,因此非常適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應用。端部密封技術的最新改進減少了端部密封的磨損,從而延長了維修干預之間的時間間隔。變換器驅動控制著電機的特性,確保泵總是以優化速度運行,并使用戶可以對泵進行遠程控制。

氣鎮允許處理蒸汽,將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅動裝置控制著電機特性,可確保泵總是以最優轉速運轉。

特點

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長

無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用

簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間

變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz

應用

清潔泵送應用

汽車

射束線和高能物理

超高速離心機

 LCMS 入口

ICPMS 入口

涂層

技術規格

型號

XDS35i

XDS46i

抽速m3/h

35 m3/h

40 m3/h

極限真空(總壓力)

1 x 10-2 / 8 x 10-3mbar/Torr

最大水蒸汽進氣口壓力

35 mbar/23 Torr

40 mbar/30 Torr

水蒸汽泵送速率-GB I

70 g/h


水蒸汽泵送速率-GB II

240 g/h


最大允許出口壓力

0.2bar

最大允許出口壓力-GB

0.5Bar

電機功率KW

0.52

轉速rpm

1750

重量

48 kg

噪音

57 dB(A)

入口法蘭

NW40

出口法蘭

NW25

震動rms

<4.5

泄漏率mbar.L/s

<1 x 10-6

工作溫度℃

10-40

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